产品简介
"Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。
扫描电子显微镜（SEM）被广泛应用于纳米技术，半导体?电子行业，生命科学，材料科学等领域的材料结构观察。近年来，新一代的电子器件应用中受到广泛期待的新型碳材料，高分子材料，复合材料等的研究作为先进科学技术的中坚技术，在全世界范围内受到热捧。扫描电子显微镜广泛用于这些材料的观察?评价，但仅仅具有超高分辨率还远远不够?；挂竽茉诘图铀俚缪瓜露员砻嫦肝⒔峁沟墓鄄旌透吡槊舳鹊脑胤治?。除此之外，在长期的研究过程中还追求电镜的性能的持续稳定和信赖性。
本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。
除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。
主要特点
搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪
跟前代机型相比分辨率大约提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）
最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*¹
用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来
主要参数
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名称 |
Regulus8100 |
Regulus8240/8230/8220 |
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二次电子分辨率 |
0.8 nm（加速电压 15 kV） |
0.7 nm（加速电压 15 kV） |
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1.1 nm（着陆电压 1 kV）*² |
0.9 nm（着陆电压 1 kV）*² |
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加速电压 |
0.5~30 kV |
0.5~30 kV |
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着陆电压*² |
0.1~2 kV |
0.01~20 kV |
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倍率 |
20~1,000,000倍*³ |
20~2,000,000倍*³ |
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马达台控制 |
3轴自动*? |
5轴自动 |
*¹ 仅限 Regulus8240/8230/8220
*² 减速模式观察
*³ 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率
*? 5轴马达台为选配项
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
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